关键词：
在半导体芯片制造装备中，为了实现半导体芯片制造的高质量和高效率，通常需要其运动部件具有较高的运动性能，如，对于高端引线键合机，通常要求其运动平台在 15-20g 的加速度下以 15-20Hz 的运动频率实现 1-2μm 的定位精度 [3] 。对于典型的芯片光刻机，其运动平台需要在 100-150mm 的长行程下达到几十纳米的定位精度[4] 。此外，半导体芯片不断向着更高效率和更高精密化的方向发展，为了进一步满足微电子制造业的高端需求，半导体芯片制造装备中的高加速精密运动平台需要同时满足大行程、高动态响应，高精度定位的综合性要求。宏微运动平台结合了高速、大行程运动和高精度定位的运动特点，是实现高速大行程精准定位的一种重要运动方式，因此，本课题针对高速、高加速、大行程宏微精密运动平台开展深入研究，着力解决宏微运动平台高速大行程下的快速高精密定位的重要问题，对于提高我国微电子制造装备的自主能力与推动我国微电子制造产业的蓬勃发展具有重要意义。
为了实现宏微运动平台的快速高精密定位，对其控制系统的设计尤为重要。尤其是平台工作在纳米级定位需求时，平台在运动及定位过程中受到外部扰动、电气噪声、模型参数摄动、非线性摩擦力等多种复杂扰动都不可避免的影响着平台的定位性能。宏微复合平台由于是双级驱动系统，其本质上为一个双输入单输出系统(DISO)。但考虑到宏
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微两部分各自的特点及功能，在实际对其控制中，往往采取分时启动、切换控制的方式将宏微双级系统分为两个单输入单输出系统(SISO)
。因此针对宏微复合双驱动平台的控制策略主要分为宏运动部分控制—被控制对象常常以直线电机为代表的直驱系统；微运动部分控制—以压电陶瓷+
柔性机构为代表的微驱动系统；以及宏微切换控制策略实现宏微运动平台的复合定位。
控制器设计
高速高精度半导体运动台设计
高速高精运动平台的性能不仅与运动控制器、伺服驱动相关，也与电机本身的性能密切相关。如图5-2所示的运动平台采用了雅科贝思的直线电机，直接驱动负载，刚性高，响应快，同时选用了高性能多轴运动... 查看详情
基于fpga的高速图像处理平台设计_爱学术
...处理速度慢,显示分辨率低,不方便携带等问题,设计了一个基于FPGA的高速图像处理平台,包含高速图像的采集、处理、及显示。图像采集通过CameraLink接口采集图像,图像处理部分利用乒乓操作对图像数据进行高速存储,FPGA完成图像预... 查看详情
基于dsp+fpga的高清图像跟踪系统研制
...基本组成与工作原理、详细功能和性能要求，设计了基于DSP+FPGA的图像跟踪系统并进行了实验验证，主要工作包括：1）本文设计的图像跟踪系统主要由图像跟踪电路、通讯控制电路和视频接口电路组成，以... 查看详情
高速高精度半导体运动台设计
不管是晶圆制造设备如光刻机、刻蚀机等，还是半导体后端封装设备，如固晶机、焊线机等，XY运动平台都是这些设备的核心部件，运动平台的性能决定着设备的性能。高速高精运动平台，其最大特点就是高速... 查看详情
基于stm32+fpga的多轴运动控制器的设计
运动控制器是数控机床、高端机器人等自动化设备控制系统的核心。为保证控制器的实用性、实时性和稳定性，提出一种以STM32为主控制器、FPGA为辅助控制器的多轴运动控制器设计方案。给出了运动控制器的硬件电路设计... 查看详情
am5728+xilinxartix7三核高速图像和数据信号采集处理平台
...变■ ARM核负责HMI界面+DSP核处理复杂数据计算+FPGA高速运动控制■ 支持多种电机驱动： 查看详情
dsp与stm32大pk
...如三星、易法、飞利浦、摩托罗拉等等，其中STM32是易法半导体的一款面向工控低功耗内核为Cortex M 查看详情
创龙基于c66x平台dsp与fpga通信测试
本文为基于创龙TL665xF-EasyEVM开发板的DSP与FPGA通信测试。TL665xF-EasyEV开发板的简介绍如下：由核心板+底板构成。核心板DSP端采用单核TMS320C6655或双核TMS320C6657处理器，FPGA端采用XilinxArtix-7处理器，实现异构多核处理器架构，DSP与FPGA... 查看详情
fpga和dsp间基于srio的高速通信系统设计
作者：陈婷，岳强，汪洋解放军信息工程大学摘要:现代信号处理系统通常需要在不同处理器之间实现高速数据通信，SRIO协议由于高效率、低延时的特性被广泛使用。本文研究了在FPGA和DSP两种处理器之间实现SRIO协议的方法，并... 查看详情
基于dsp+fpga的机载雷达伺服控制系统的硬件设计与开发
机载雷达是以飞机为载体的各种雷达天线的总称，主要用于空中侦察、警戒、保证航行准确与安全[1]。随着航空航天技术的飞速发展，以及微电子、计算机和高速集成电路等新型技术在军事领域的广泛应用[2]&... 查看详情
arm/dsp+fpga运动控制机器视觉控制器方案定制
ARM/DSP+FPGA运动控制机器视觉控制器方案定制，信迈拥有成熟的相关方案。机器视觉是计算机视觉的一个分支，工业自动化领域中的视觉控制或视觉应用，主要指的是通过前端光学摄像头，从采集到的数字化图像... 查看详情
基于国产aｒm+fpga+codesys运动控制平台的智能人机交互系统设计
...保护领域智能保护装置显示系统的需求，提出了一种基于国产AＲM处理器和FPGA的智能人机交互系统的设计方案。该方案重点阐述了智能人机交互系统的功能架构及硬件设计方案，并介绍了数据交换和人机交互的软件设... 查看详情
基于国产aｒm+fpga+codesys运动控制平台的智能人机交互系统设计
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srio接口卡航电总线解决方案
TES600是天津拓航科技的一款基于FPGA与DSP协同处理架构的通用高性能实时信号处理平台，该平台采用1片TI的KeyStone系列多核浮点/定点DSPTMS320C6678作为主处理单元，采用1片Xilinx的Kintex-7系列FPGAXC7K325T作为协处理单元，具有1个FMC子卡... 查看详情
fpga连接dsp
...TI的DSP连接为例，低速情形可以采用VLYNQ接口与EMIF接口，高速可以采用RapidIO接口。具体信息可以去官网查查技术文档。 查看详情
基于ompal138+fpga异构多核运动控制器的设计
针对传统运动控制器稳定性差、控制效率低、软件构架不完善等特点,结合异构多核技术的优势,提出并开发一种异构多核处理器运动控制器。文章详细阐明该系统硬件设计和软件设计,硬件设计主要说明以异构多核处理器OMAPL138为... 查看详情
omapl138fpga三核高速数据采集处理核心平台方案
... 深圳信迈设计的XM138F-IDK-V3是一款DSP+ARM+FPGA三核高速数据采集处理开发板，适用于电力、通信、工控、医疗和音视频等数据采集处理领域。此设计采用OMAP-L138+Spartan-6平台，其中OMAP-L138是德州仪器（TI）... 查看详情
硅片检测半导体运动台控制器的设计
虽然我国目前对于精密硅片检测运动平台的整机研发还比较空白，但是值得注意的是，对于X、Y两自由度运动平台，甚至多自由度运动平台、先进驱动方式和控制策略的研究已经积累了一定的经验，吸收这些经验... 查看详情